四探針電阻率/方阻測試儀（以下簡稱電阻率測試儀）是用來測量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量份（簡稱：主機(jī)）、測試架及四探針頭組成。

產(chǎn)品型號：DP-KDY-1

更新時間：2016-09-18

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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四探針電阻率測試儀/四探針電阻率儀/方阻測試儀/方阻儀/四探針電阻率測定儀型號：DP-KDY-1

四探針電阻率/方阻測試儀（以下簡稱電阻率測試儀）是用來測量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量份（簡稱：主機(jī)）、測試架及四探針頭組成。
本儀器的特點是主機(jī)配置雙數(shù)字表，在測量電阻率的同時，另塊數(shù)字表（以分之幾的度）適時監(jiān)測程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換，更及時掌控測量電流。主機(jī)還提供度為0.05%的恒流源，使測量電流度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開關(guān)，在測量某些箔層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，地保護(hù)箔膜。儀器配置了本公司的產(chǎn)品：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器，測量硅片時可自動行厚度、直徑、探針間距的修正，并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習(xí)庋。給測量帶來很大方便。
2、主機(jī)能數(shù)
（1）測量范圍：
可測電阻率：0.0001～19000Ω•cm
可測方塊電阻：0.001～1900Ω•□
（2）恒流源：
輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
量程：0.001～0.01mA
0.01～0.10mA
0.10～1.0mA
1.0～10mA
10～100mA
恒流度：各檔均低于±0.05%
（3）直流數(shù)字電壓表：
測量范圍：0～199.99mV
靈敏度：10μV
基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度）
輸出電源：≥1000ΩM
（4）供電電源：
AC 220V±10% 50/60 Hz 率：12W
（5）使用環(huán)境：
溫度：23±2℃ 相對濕度：≤65%
無較強(qiáng)的電場干擾，無強(qiáng)光直接照射
（6）重量、體積：
主機(jī)重量：7.5kg
體積：365×380×160（單位：mm 長度×寬度×度）

備注：
等級測量時（測電阻率），度<3%
電氣測量時（測電阻），度在0.3%以內(nèi)

備注：
儀器包括：主機(jī)臺；測試架（包括臺面）個；四探針頭1個

商品名稱：氟離子濃度計/氟離子檢測儀/氟離子測試儀/氟離子計
商品型號：DP-MP519

氟離子濃度計/氟離子檢測儀/氟離子測試儀/氟離子計

型號：DP-MP519

●符合規(guī)范的GLP要求，具有自動校準(zhǔn)、自動溫度補(bǔ)償、數(shù)據(jù)儲存、RS232輸出、時鐘顯示和能設(shè)置等化能。

● 有三種不同的測量模式：穩(wěn)定顯示模式；定時測量模式；連續(xù)測量模式。

● 氟電量程: 1～6 pF （10^-1～10^-6mol/L）。

● 配置電：氟離子電，參比電和溫度電。

● 可切換四種離子濃度單位：pX、mol/L、mg/L和ppm.

● 儀器帶有*的產(chǎn)品序列號。

● 符合IP54防塵防濺等級，儀表插口有硅膠帽密封保護(hù)。

mV	測量范圍分辨率準(zhǔn)確度	-1999.9mV ~ 0 ~ 1999.9mV 0.1mV ±0.1% FS
氟離子	測量范圍顯示單位準(zhǔn)確度輸入電流輸入阻抗穩(wěn)定性溫度補(bǔ)償范圍	電計：（0.00~9.00）pF；配套：（1.00~7.00）pF pF、mol/L、mg/L、ppm ± 0.01 pF ≤2×10^-12A ≥1×10¹²Ω ±0.01 pF/3h （0 ~ 50）℃（自動或手動）
溫度	測量范圍分辨率準(zhǔn)確度	-10℃~ 110℃ 0.1℃ 5~ 60℃范圍：±0.5℃ 其余范圍：±1.0℃
其他參數(shù)	數(shù)據(jù)儲存儲存內(nèi)容電源通訊接口尺寸和重量質(zhì)量和安認(rèn)證	600組測量值編號、測量值、溫度值、ATC或MTC狀態(tài)、測量日期、測量時間 DC9V/300mA RS232 160 × 190 × 70mm/880g ISO9001:2008, CE和CMC
作條件	環(huán)境溫度環(huán)境濕度 IP等級	5 ~ 35 ℃ ≤85% IP54 防塵防濺

1. DP-MP519氟離子濃度計電計	1臺
2. F502 型氟離子電	1支
3. 6211－M型參比電	1支
4. DP-MP500型溫度電	1支
5. 602型向電架	1個
6. 901型攪拌器	1臺
7. B628攪拌珠	三粒
8. 9V電源適配器（儀器使用）	1個
9. 6V電源適配器（攪拌器使用）	1個
10.RS232通訊電纜	1根
11.DP-MP519通訊軟件光盤	1張
12. 說明書	1份
13. 簡要操作南	1份